据国外媒体报道,作为全球唯一可以向芯片制造商供应极紫外光刻机的制造商,ASML已经推出了几款极紫外光刻机,如TWINSCAN NXE:3400C和TWINSCAN NXE:3600D,并持续向TSMC和三星电子等客户交付。
除了TWINSCAN NXE系列极紫外光刻机,ASML还在开发高数值孔径极紫外光刻机,以应对更先进的2nm及以下工艺技术。
对于高数值孔径极紫外光刻机,ASML首席执行官兼总裁彼得·维尼克本周在韩国首尔的新闻发布会上透露,将于2024年开始发货,每台价格为3亿至3.5亿欧元。
就Peter Wienicke透露的价格来看,高数值孔径极紫外光刻机的价格远高于他们目前交付的TWINSCAN NXE系列极紫外光刻机。
根据ASML的财务报告,他们在今年第二和第三季度交付了12台极紫外光刻机按照他们的营收和占比,第二季度每台机器的均价约为1.66亿欧元,第三季度均价约为1.81亿欧元,均在2亿欧元以下
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